慧聪汽车用品网：普泰柔性基材磁控溅射镀膜机由核工业西南物理研究院自主设计，拥有完全自主知识产权并申请、获得多项国家专利。
普泰柔性基材磁控溅射镀膜机主要适用于在卷式柔性基材上镀制大面积、高精度，热蒸发及电子束镀膜无法满足要求的薄膜，附加值较高。镀制的薄膜特点为均匀性好、膜层致密、膜基结合力好，非常适合应用在隔热窗膜、宽幅柔性电路板等对性能和质量有较高要求的领域。
普泰柔性基材磁控溅射镀膜机主要配置
配置 作用及特点 真空系统 真空获得及测量 Polycold系统 除可凝性水气等 冷热水系统 -300С~300С，冷却基材防止基材受热变形 六套孪生靶系统 可分别独立使用 PEM反应溅射控制系统 提高反应溅射速度 光学在线监测系统 测可见光透、反射率
普泰柔性基材磁控溅射镀膜机特点
项目 要求及特点 适用基材种类 PET、PI等柔性基材 卷芯直径 6英寸 基材宽度 1560mm 镀膜宽度 1540mm 镀膜均匀性 ±2% 基材最大卷经 570mm 可镀膜层种类
Ti、Cu等多种金属膜
TiO2、TiN等化合物膜
最多一次可镀六层膜系结构
