压差传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器,通常用于测量某一设备或部件前后两端的压差。
压差传感器的工作原理是被测压力直接作用于传感器的膜片上,使膜片产生与水压成正比的微位移,使传感器的电容值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个相对应压力的标准测量信号。
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2、.陶瓷压力传感器.陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统材料的应用,陶瓷传感器所使用的陶瓷材料是精细陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是依靠标准的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成适当的预备性操作之后,将成形的元件在高温中进行烧结。
传感器的各种制造工艺之间并没有明确的优劣之分,各个制造工艺都有自己的优点和不足,只是在面对不同的应用时对压力传感器有不同的选择。比如电子消费产品中应用的传感器都是采用集成式的,而在面对一些腐蚀性介质的时候,选用陶瓷压力传感器更为合适。
压力传感器在现代工业控制中的应用已经非常深入,不同的行业以及应用环境对压力传感器的要求不一样,所以压力传感器的制造也有好几种工艺,各种工艺都有自己的特点。主要的制造工艺目前来说有下面四种:集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。
1.集成压力传感器。集成传感器的生产工艺,和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。
2.薄膜压力传感器。薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制作方法是在介质衬底也就是基板上,用敏感材料形成一层薄膜。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。
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