压力传感器在现代工业控制中的应用已经非常深入,不同的行业以及应用环境对压力传感器的要求不一样,所以压力传感器的制造也有好几种工艺,各种工艺都有自己的特点。主要的制造工艺目前来说有下面四种:集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。
1.集成压力传感器。集成传感器的生产工艺,和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。
2.薄膜压力传感器。薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制作方法是在介质衬底也就是基板上,用敏感材料形成一层薄膜。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。
压差传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器,通常用于测量某一设备或部件前后两端的压差。
压差传感器的工作原理是被测压力直接作用于传感器的膜片上,使膜片产生与水压成正比的微位移,使传感器的电容值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个相对应压力的标准测量信号。
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压差传感器选择的两个条件
1、满足仪表输入的要求。称重显示仪表是对压差传感器的输出信号经过放大、A/D转换等处理之后显示称量结果的。因此,传感器的输出信号必须大于或等于仪表要求的输入信号大小,即将压差传感器的输出灵敏度代人传感器和仪表的匹配公式,计算结果须大于或等于仪表要求的输入灵敏度。
2、满足整台电子秤准确度的要求。一台电子秤主要是由秤体、传感器、仪表三部分组成,在对压差传感器准确度选择的时候,应使压差传感器的准确度略高于理论计算值,因为理论往往受到客观条件的限制,如秤体的强度差一点,仪表的性能不是很好、秤的工作环境比较恶劣等因素都直接影响到秤的准确度要求,因此要从各方面提高要求,又要考虑经济效益,确保达到目的。
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