压力传感器在现代工业控制中的应用已经非常深入,不同的行业以及应用环境对压力传感器的要求不一样,所以压力传感器的制造也有好几种工艺,各种工艺都有自己的特点。主要的制造工艺目前来说有下面四种:集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。
1.集成压力传感器。集成传感器的生产工艺,和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。
2.薄膜压力传感器。薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制作方法是在介质衬底也就是基板上,用敏感材料形成一层薄膜。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。
压力传感器选型应注意的问题:
1、确认工作温度范围。被测介质的温度应处于压力传感器的工作范围以内,否则测量结果误差将会较大且会影响传
感器的寿命。如被测介质温度较高,可使用高温压力传感器,或者安装冷疑管降温等。6、确认压力的接口。压力接口即你所需要的螺纹接口,M20*1.5为通用接口,其它螺纹可定制。
2、确认输出信号。输出信号一般为0~24mADC,0~5VDC,1~5VDC,0~10VDC
3、确认供电电压。
4、确认工作环境。是否存在振动或者电磁干扰等
5、确认电气连接方式等。即压力传感器信号输出到什么上面,是PLC或者其它。
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2、.陶瓷压力传感器.陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统材料的应用,陶瓷传感器所使用的陶瓷材料是精细陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是依靠标准的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成适当的预备性操作之后,将成形的元件在高温中进行烧结。
传感器的各种制造工艺之间并没有明确的优劣之分,各个制造工艺都有自己的优点和不足,只是在面对不同的应用时对压力传感器有不同的选择。比如电子消费产品中应用的传感器都是采用集成式的,而在面对一些腐蚀性介质的时候,选用陶瓷压力传感器更为合适。
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