500 Cold Cathode
运用薄膜传感器技术，该产品可以提供近大气端的的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。的传感器设计消除了在高压力下影响热www.jymy.cn损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中，减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设**继电器用于工艺控制，可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者相对压力值。
Granville-Phillips 390 Micro-lon ATM模块复合了经标定的Micro-lon电离规技术和微型Conductron热损失传感技术和两个压阻薄膜传感器于一体，从而提供了从高真空到大气压的、连续的压力测量。
特点
在恶劣环境下，使用寿命长
低杂散磁场
零维护 - 可换插头
**紧凑尺寸
可靠的快速点火
抗腐蚀馈入装置
可选测量电流
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达绍兴佳瑶门窗到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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